很多客户采购石英质品的时候都会提及这样一个指标,要求羟基含量小于X X ppm,那么这个羟基是什么?从哪里来?
这里说的“羟基” 指的是键合在石英玻璃网络结构中的 “-OH 官能团”(氢氧根)。
它的主要来源:① 原料本身含有羟基或水;② 制备过程的熔制气氛,尤其在含氢(如H₂)气氛中会大量引入; ③ 高温下SiO₂与H₂O反应是在石英玻璃的熔制过程中,如果使用氢氧焰(气相沉积法),原料中的水分或氢气会引入羟基。
一.羟基会对石英玻璃性能产生哪些影响?
大量存在会从多个关键维度劣化石英玻璃的性能,主要表现出以下几个方面:
1.高温下羟基会挥发,导致石英玻璃更容易受化学侵蚀。更容易出现“失透”(析晶),破坏工件的化学稳定性,缩短使用寿命,并可能污染炉内环境。
2.羟基显著降低石英玻璃的粘度,尤其在低温时影响更明显,这会削弱其高温抗变形能力,严重影响热学性能。
3.羟基会在特定红外波段(如2.7μm)产生强烈的吸收峰,严重影响光的透过率,紫外波段光学效果也会受到影响,削减工件的光学性能。
4.羟基会破坏硅氧键,降低玻璃网络的强度,使其更脆弱,导致工件机械强度下降。
5.羟基是极性基团,在高温高频下会增加介电损耗,影响电路性能,影响工件介电性能。
二. 羟基的含量等级:
目前关于羟基含量尚无国家标准明确分级,但行业通常按含量和应用划分。
1.低羟基级(<5 ppm)
2.普通级(几十至200ppm)
3.高羟基级(>200 ppm)
三. 羟基的检验标准:
参照GB/T 12442-2019《石英玻璃中羟基含量检验方法》是现行国家标准。
四.检验方法:
标准方法为红外光谱法,通过测量特定吸收峰的强度来计算羟基含量。
五.低羟基石英玻璃的“抢手”应用领域
1. 光纤通信领域:
这是低羟基石英玻璃最大的应用市场。光纤的芯棒和包层都由超高纯度石英玻璃制成。
选择原因:羟基在通信波段(如1310nm和1550nm)附近有吸收峰,会严重衰减光信号,导致传输距离大幅缩短。低羟基石英玻璃是制造低损耗、长距离通信光纤的绝对前提。
2. 半导体制造领域:
用于制造晶圆扩散、氧化工艺中的炉管、舟皿、挡板、清洗槽等。
选择原因:半导体工艺在超净环境下进行,温度高达1200℃以上。高羟基石英玻璃会在此条件下析晶并释放杂质,污染高纯硅片,导致芯片良率下降。低羟基产品确保了工艺的纯净和稳定。
3. 高端光源领域:
用于制造氙灯、金卤灯、紫外灯等的灯管,套管等。
选择原因:这些灯具内部是高温等离子体。低羟基石英玻璃能承受更高的管壁负载,抗紫外老化能力更强,光输出更稳定,寿命更长。
4. 精密光学与科研领域:
用于制造激光器窗口片、透镜、太空望远镜的镜坯、高能物理实验装置等。
选择原因:需要极宽的光谱透过范围(从深紫外到远红外)和极高的尺寸稳定性,任何由羟基引起的性能波动都是不可接受的。
5. 光伏行业
用于制造多晶硅、单晶硅铸锭炉的坩埚。
选择原因:与半导体类似,防止在高温长晶过程中污染高纯硅料。
这么看来,低羟基石英玻璃虽看似不起眼,确是半导体、光纤、高端光学、精密科研领域不可或缺的基石材料。由于其制造技术(如电熔法、等离子熔炼)难度高、成本大,也进一步加剧了其供不应求和高价值的市场地位。
来源:实验室石英玻璃